FACILITIES
加藤研究室では，さまざまな磁性薄膜を作製し，その諸特性を測定するための以下の装置群を整備しています．
成膜装置
薄膜を作製するためのものとしては，真空蒸着装置，スパッタリング装置および分子線エピタキシャル装置があります．
微細加工・熱処理装置
微細加工・エッチング・熱処理装置を用いて機能性磁性薄膜を設計・作製しています．
評価・分析装置
評価・分析装置としては，X線による構造解析を行う装置，磁気的な特性を測る装置などを備えています．
先端技術共同研究施設の共同利用設備
この他，先端技術共同研究施設の共同利用設備である以下の装置も利用しています．
