原子間力顕微鏡
薄膜表面形状および磁気構造を測定します．
装置仕様
Bruker社製 Dimeinsion3100+Nanoscope IV
測定モード：AFM（コンタクト，タッピング，ノンコンタクト），STM，MFM，EFM，LFM，表面電位顕微鏡，電流像，リソグラフィー
スキャン領域：XY方向 約90μm，Z方向 約6μm
試料サイズ：最大150 mmφ－12 mmt
防音フード有
薄膜表面形状および磁気構造を測定します．
Bruker社製 Dimeinsion3100+Nanoscope IV
測定モード：AFM（コンタクト，タッピング，ノンコンタクト），STM，MFM，EFM，LFM，表面電位顕微鏡，電流像，リソグラフィー
スキャン領域：XY方向 約90μm，Z方向 約6μm
試料サイズ：最大150 mmφ－12 mmt
防音フード有