X線回折装置
薄膜の結晶構造，膜面に対する結晶の方位，結晶配向の程度，結晶粒の大きさ，多層膜の層状構造の様子などの情報を得ることができます．
装置仕様
RIGAKU製 ATX-G
測定モード：θ－2θスキャン，ロッキングカーブ，
逆格子面マッピング，膜面内φスキャン，φ－2θχスキャンなど
線源：Cu-Kα1（2結晶，4結晶Geモノクロメータ）
出力：18 kW
ゴニオメータ軸：ω，2θ，2θχ軸の独立駆動（分解能0.0001deg）
試料ステージ軸：並進移動用X, Y, Z軸，面内回転用φ軸，
あおり補正用Rx，Ry