マスクアライナ
光リソグラフィー（マスク上の微細なパターンを光によりレジストに転写）を行う装置です．サンプルの微細加工に用います．
装置仕様
MIKASA製 M-1S
マスクサイズ：4 x 4 inch
試料サイズ：最大3 inchφ
露光光源：250W超高圧水銀灯
試料ステージ移動：X，Y方向 ±20 mm
光リソグラフィー（マスク上の微細なパターンを光によりレジストに転写）を行う装置です．サンプルの微細加工に用います．
MIKASA製 M-1S
マスクサイズ：4 x 4 inch
試料サイズ：最大3 inchφ
露光光源：250W超高圧水銀灯
試料ステージ移動：X，Y方向 ±20 mm