X-ray diffractometry (XRD)
薄膜の結晶構造，膜面に対する結晶の方位，結晶配向の程度，結晶粒の大きさ，多層膜の層状構造の様子などの情報を得ることができます．
Specifications
RIGAKU製 ATX-G
ATX-G made by RIGAKU
Measurement modes : θ－2θscan，rocking curve, reciprocal space mapping, in-plane diffraction, etc.
X-ray source : Cu-Kα1（multilayer mirror，Ge monochrometer）
Maximum power : 18 kW
Goniometer Axes : ω，2θ，2θχ（resolution: 0.0001deg）
Sample stage : X, Y, Z，in-plane φ rotation, Rx and Ry adjustments for grazing