Mask aligner (for optical lithography)
光リソグラフィー（マスク上の微細なパターンを光によりレジストに転写）を行う装置です．サンプルの微細加工に用います．
Specifications
M-1S made by MIKASA
Mask size : 4 x 4 inch
Sample size : Max. 3 inchφ
Light source : 250W ultra high pressure UV lamp
Sample displacement：±20 mm in X, Y direction